迈入先进制程最快速生产力　应用材料推出最先进电子束检测系统

应用材料在电子束检测技术上精益求精，推出提供最高解析度与影像品质的新一代电子束检测系统，系唯一具备1纳米解析度的电子束检测机台，较现有系统生产力快三倍，能帮助客户检测出其他技术找不到的最高难度“致命*”缺陷，并监控制程的极限，以快速解决产量拉升问题，达成更高的良率。

应用材料的PROVision系统是业界最先进的电子束检测机台，承续了该公司在电子束缺陷检视和量测方面，超过20年的顶尖专业知识所发展出的创新技术，能够让顶尖的晶圆代工、逻辑产品、DRAM和3D NAND客户，在迈入先进制程时，达成最快速的生产力；可针对最具挑战*的电子束应用，提供最多快上三倍的生产力。据表示，客户快速采用，出货量已达十几台，并且包含重复订单；开发团队拥有超过20年的电子束领域领导地位，已售出2,200台电子束量测与缺陷检视系统。

应用材料副总裁暨影像与制程控制事业部总经理鲍伯?普尔玛特(Bob Perlmutter)表示：“PROVision系统是我们领导电子束产品组合的最新生力军，也是应用材料公司成长策略不可或缺的关键。我们的差异化电子束量测与缺陷检测技术是业界最佳技术，在搭配客户的新检测方法使用时，可让PROVision系统不只用于研发精进，也能应用于生产环境。”

PROVision系统的销售动能渐增，出货量已经超过十多台，包括来自龙头晶圆代工厂与记忆体制造商的重复订单。在2016年下半年，已另外排定出货到现有及新增的客户端。

相较于现有的电子束热点检测机台，PROVision系统能提供快上三倍的生产力，并可在整个晶圆产品的生命周期期间，针对影响效能与良率的缺陷，保证能进行精确的制程特*分析、预测与检测。PROVision系统的加入让应用材料公司的电子束量测与缺陷检视产品及光学图案晶圆检测产品线，更加相得益彰。