应材推电子束检视系统 攻面板市场

半导体设备厂应用材料扩展电子束检视系统市场，推出面板生产线上用的电子束检视系统，目前已获6家全球前十大显示器制造厂订单。

应用材料指出，面板生产线上用的电子束检视系统是将原用在半导体元件检视的扫描式电子显微镜技术，结合在大尺寸显示器的真空系统平台上，可在制造显示器时，快速有效发现与分析造成良率损失缺陷的原因。

应用材料表示，目前在显示器制造中使用的自动光学缺陷检测机台，无法像扫瞄式电子显微镜一样有效辨识致命与非致命的缺陷，或确认系统*的起因。

此外，以扫描式电子显微镜分析显示器制品，须用破坏*检视，将玻璃基板切割成小片取样，再分别将每块小片于显微镜下检查，不仅耗资、费时，并难以定位缺陷在整片面板上的确切位置。

应用材料指出，新推出的生产线上电子束检视系统不需破坏面板，可解决现有检测限制；目前已获6家全球前十大显示器制造厂订单。