找出“致命*”缺陷　台湾应用材料新一代电子束检测系统提供高解析功能

台湾应用材料公司7/12日宣布，该公司新一代电子束检测系统，提供了最高的解析度与影像品质，这套系统是唯一提供1纳米解析度的电子束热点检测机台，能帮助客户检测出其他技术找不到的最高难度“致命*”缺陷，并监控制程的极限，以快速解决产量拉升问题，达成更高的良率。

台湾应用材料公司的PROVision系统是业界最先进的电子束检测机台，承续了该公司在电子束缺陷检视和量测方面，超过20年的顶尖专业知识所发展出的创新技术，能够让顶尖的晶圆代工、逻辑产品、DRAM和3D NAND客户，在迈入先进制程时，达成最快速的生产力。

台湾应用材料公司副总裁暨影像与制程控制事业部总经理鲍伯?普尔玛特(Bob Perlmutter)表示：“PROVision系统是我们领导电子束产品组合的最新生力军，也是应用材料公司成长策略不可或缺的关键。我们的差异化电子束量测与缺陷检测技术是业界最佳技术，在搭配客户的新检测方法使用时，可让PROVision系统不只用于研发精进，也能应用于生产环境。”

PROVision系统的销售动能渐增，出货量已经超过十多台，包括来自龙头晶圆代工厂与记忆体制造商的重复订单。在2016年下半年，已另外排定出货到现有及新增的客户端。

SK 海力士(SK hynix)研发电子束检测事业部权五长(Oh-Jang Kwon)博士表示：“PROVision系统独特的高解析度与大量取样功能，有助于我们的先进制程的研发，缩短解决方案与上市的时间。”

相较于现有的电子束热点检测机台，PROVision系统能提供快上三倍的生产力，并可在整个晶圆产品的生命周期期间，针对影响效能与良率的缺陷，保证能进行精确的制程特*分析、预测与检测。PROVision系统的加入让应用材料公司的电子束量测与缺陷检视产品及光学图案晶圆检测产品线，更加相得益彰。